现根据测量参数的不同，来分析不同的氧化锆氧量分析仪故障所在。
1．在氧化锆氧量分析仪现场仪表故障前，要比较透彻地了解相关仪表系统的生产过程、生产工艺情况及条件，了解仪表系统的设计方案、设计意图，仪表系统的结构、特点、性能及参数要求等。
2．在分析检查氧化锆氧量分析仪系统故障之前，要向现场操作工人了解生产的负荷及原料的参数变化情况，查看故障仪表的记录曲线,进行综合分析，以确定仪表故障原因所在。
3．如果仪表记录曲线为一条死线（一点变化也没有的线称死线）,或记录曲线原来为波动，现在突然变成一条直线；故障很可能在仪表系统。因为目前记录仪表大多是DCS计算机系统，灵敏度非常高，参数的变化能非常灵敏的反应出来。此时可人为地改变一下工艺参数,看曲线变化情况。如不变化，基本断定是仪表系统出了问题；如有正常变化,基本断定氧化锆氧量分析仪系统没有大的问题。
4．变化工艺参数时，发现记录曲线发生突变或跳到大或小，此时的故障也常在氧化锆氧量分析仪系统。
5．故障出现以前仪表记录曲线一直表现正常，出现波动后记录曲线变得毫无规律或使系统难以控制，甚至连手动操作也不能控制，此时故障可能是工艺操作系统造成的。
6．当发现DCS显示仪表不正常时，可以到现场检查同一直观氧化锆氧量分析仪的指示值，如果它们差别很大，则很可能是仪表系统出现故障。