氧化锆氧量分析仪又称氧化锆氧分析仪，主要用于测量燃烧过程中烟气的含氧浓度，同样也适用于非燃烧气体氧浓度测量。在传感器内温度恒定的电化学电池产生一个毫伏电势，这个电势直接反应出烟气中含氧浓度值。将此分析仪应用于燃烧监视与控制，将有助于充分燃烧，减少CO2、SOx及NOx的排放，从而为防止变暖及空气污染做出贡献。
氧化锆氧量分析仪广泛应用于多种行业的燃烧监视与控制过程，并且帮助各行业L域取得了相当可观的节能效果。应用L域包括能耗行业，如钢铁业、电子电力业、石油化工业、制陶业、造纸业、食品业、纺织品业，还包括各种燃烧设备，如焚烧炉、中小型锅炉等。
氧化锆氧量分析仪在使用过程中会出现一定的误差问题。本文就具体介绍几点提高氧化锆氧量分析仪测量精度的方法。
一、氧化锆氧量分析仪在初次启用前须严格检漏。氧气微氧分析仪只有在严密不漏的前提下才能获得准确的数据结果。任何连接点，焊点，阀门等处的不严密，将会导致空气中的氧反渗进入管道及氧分析仪内部，从而得出含氧量偏高的结果。
二、在重新使用氧化锆氧量分析仪时，先须注意在连接氧分析仪的取样管路时是否漏入空气，并且须认真将漏入氧气微氧分析仪的空气吹除干净，尽量不使大量氧气通过氧气微氧分析仪的传感器以延长传感器寿命。在管道系统净化过程中，为缩短净化时间，需要有一定的方法，一般使用高压放气及小流量吹除交替进行可迅速净化氧气微氧分析仪管道。
三、氧化锆氧量分析仪微量分析时须有效排除气路上的各种管件、阀门、表头等配件中的死角对样气造成的污染。因此，应尽可能简化氧气微氧分析仪气路系统，选用死角小的连接件等。并且，避免使用水封，油封及腊封等设备，防止溶解氧逸出造成污染，更需避免在样气引出至氧气微氧分析仪的管线上增加易造成污染的净化设备等。只有这样才能保证系统洁净，所得数据准确。