氧化锆氧分析仪测量时氧含量偏低的原因及处理方法有以下几种：

1、氧化锆探头量程电势偏高

处理方法：利用给定电势差校正量程电势。

2、氧化锆探头过滤器堵塞、气阻增大，氧气不流动。

处理方法：反向吹扫、清洗过滤器，如果不能疏通，则更换过滤器。

3、炉温过高或者过低

处理方法：检查校正炉温

4、样气中可能存在可燃气体，氧化锆固体电解质工作在600~850度高温下，如果样气中存在碳氢化合物等可燃组分，将发生燃烧反应而耗氧，故导致氧分析仪氧含量显示值偏低。

处理方法：抽样检查样气，如果样气中的确有可燃气体存在，则应调整工况除去可燃气体，或者在样气中加装净化器除去可燃气体组分，或者前端采用预处理措施降低烟气温度，或者选用电化学氧气分析仪做分析。

以上几点就是关于氧化锆氧量分析仪测量值偏低的原因和处理方法，它只是众多可能性中的一些情况，具体在实际操作中应根据不同的原因和方法来处理故障。